1、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A).

2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了.

3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa.

4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的*大值:
(1)補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和.
(2)保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3.
(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統(tǒng)加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施.無塵室的送風量,應取下面三項*大值:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量;根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量;向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量.

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